电子工程-微机电系统
微机电系统Micro-Electro-Mechanical Systems
微结构作为微电子学的发源学科,现代有产生了另外一个新的重要的研究领域—微机电系统。微机电系统是一个极端多学科交叉的领域,对于很多工程与科学研究领域有着十分重大的影响,尤其是在电气工程,机械工程和生物工程等方面。微机电的最基础研究方面是微制备技术的加工知识,制造微小型结构的方法。正是有了微电机系统技术我们才能够制造微米尺度电机,才能在一块硅晶片上制造纳米尺度扫描隧道显微镜,才能制作用于测量精细细胞活性的微迷宫。
代表院校:
• TAMU:
研究方向:Device Science and Nanotechnology,教授数量众多,四个该方向的实验室。
• UT-Austin:
研究方向:Solid-State Electronics (固体电子学)研究电子、电子光学以及微、纳米电机设备的研发和改进